Сухой турбомолекулярный насос Pfeiffer Vacuum ATH2303M
Артикул: TMBBB662405A
Высокопроизводительный турбомолекулярный вакуумный насос с магнитной левитацией ротора для получения сверхвысокого вакуума в промышленных установках и научных исследованиях. Эта модель использует принцип кинетической передачи импульса от высокоскоростного ротора к молекулам газа, обеспечивая эффективную откачку в диапазоне давлений от 10⁻³ до 10⁻¹¹ мбар.
Технические характеристики
| Регулируемый диапазон частоты вращения | от 15000 до 31000 об/мин |
| Остаточное давление | 6×10⁻⁹ мбар |
| Охлаждение, расход | Водяное, 60 л/ч |
| Пропускная способность (азот N₂) | 1500 sccm |
| Пропускная способность (гелий He, водород H₂) | >4000 sccm |
| Расход продувочного газа (Purge) | 50 sccm |
| Время выхода на режим | <8 мин |
| Максимальная температура прогрева (Baking) | 120 °C |
| Вход/выход | DN 200, DN 250 / DN 40 ISO-KF |
| Фланец подачи азотной продувки (N₂ purge) | DN 16 ISO-KF |
| Класс защиты | IP 42 |
| Уровень шума | 47 дБ |
| Потребляемая мощность (номинальная) | 130-380 Вт |
| Питание блока управления | 200-240 В, 50/60 Гц, однофазное |
| Габаритные размеры (диаметр × высота) | 312 × 354.1-398.1 мм |
| Масса насоса | 68 кг |
Ротор с лопатками из высокопрочного алюминиевого сплава вращается с частотой 31 000 об/мин, создавая направленный поток газовых молекул от входного фланца DN 250 ISO-F к выходному DN 40 ISO-KF. Корпус насоса изготовлен из нержавеющей стали 316L с электрополированной внутренней поверхностью, что обеспечивает минимальную десорбцию и коррозионную стойкость при работе с агрессивными газами.
Магнитный подвес ротора
Ключевая особенность ATH2303M — полностью магнитный подвес (5-осевой активный магнитный подшипник).
Это обеспечивает:
- Отсутствие механического контакта — нет износа подшипников
- Безмасляную откачку — исключено попадание смазки в вакуумную камеру
- Низкий уровень вибрации — критично для аналитического оборудования
- Длительный срок службы — более 50 000 часов непрерывной работы
Производительность
ATH2303M обеспечивает быстроту откачки до 2 300 л/с по азоту при входном фланце DN 250 CF-F. Предельное остаточное давление составляет 6×10⁻⁹ мбар, что позволяет достигать сверхвысокого вакуума.
Области применения
- получение сверхвысокого вакуума в промышленных установках и научных исследованиях
- вакуумные системы требующие минимальной вибрации
- космические испытательные стенды
- полупроводниковое производство (CVD, PVD, ионная имплантация)
- масс-спектрометрия и аналитические приборы
- ускорители частиц и синхротронные источники
- нанесение оптических покрытий и тонких пленок
- исследовательские вакуумные установки