Сухой турбомолекулярный насос

Принцип действия и конструкция

ATH 2303 M представляет собой современный турбомолекулярный насос (ТМН) пятого поколения, в котором реализованы две ключевые технологии для достижения максимальной производительности и надежности в сверхвысоковакуумных (СВВ) применениях.

• Магнитный подвес ротора: Активная пятиосевая система магнитных подшипников полностью устраняет механический контакт и износ в зоне вращения. Это обеспечивает исключительную долговечность, минимальный уровень вибрации и позволяет насосу работать в любом положении (горизонтальном, вертикальном или под углом) без потери эффективности.
• Ступень Хольвека: В основании насоса интегрирована молекулярно-спиральная (ходолвековская) ступень. Её основная задача — эффективная откачка газов в диапазоне среднего вакуума и создание оптимального форвакуума для турбомолекулярных ступеней. Это решение значительно повышает общую скорость откачки и степень сжатия для легких газов, особенно водорода (H₂) и гелия (He).

Детализированные технические характеристики

Производительность

• Скорость откачки (N₂): 2150 л/с.
• Скорость откачки (H₂): 1100 л/с.
• Скорость откачки (Ar): 2000 л/с.
• Скорость откачки (He): 1800 л/с.

Вакуумные параметры

Предельное остаточное давление: < 6·10⁻⁹ мбар

Максимальное выпускное (форвакуумное) давление: 2.9 мбар

Степень сжатия:

Для N₂ и Ar: > 1·10⁸

Для He: > 3·10⁴

Для H₂: > 1·10³

Механические и конструктивные данные

Присоединительные фланцы:

Вход (высоковакуумный): DN 250 ISO-F (альтернативно 250 CF-F).

Выход (форвакуумный): DN 40 ISO-KF.

Охлаждение: Водяное, с рекомендуемым расходом 60 л/ч и температурой воды 15–25°C.

Подшипник: Активный магнитный (5 осей).

Ориентация монтажа: Произвольная.

Вес: 68 кг.

Электрические и управляющие параметры:

• Встроенный блок управления: OBC V4 (MagPower). Позволяет напрямую подключать насос к сети 200–240 В, 50/60 Гц без внешнего контроллера.
• Интерфейс связи: Profibus для интеграции в автоматизированные системы.
• Потребляемая мощность: ~350 Вт в установившемся режиме, до 1000 Вт при пуске.
• Время выхода на рабочий режим: < 8 минут до номинальных 31 000 об/мин.
• Степень защиты: IP42.

Ключевые преимущества для пользователя

• Бескомпромиссная чистота: Полностью сухая, безмасляная откачка гарантирует отсутствие углеводородного загрязнения в вакуумной камере, что критически важно для процессов напыления, аналитики и исследований.
• Максимальная надежность и минимальное обслуживание: Отсутствие механического износа в подшипниковом узле многократно увеличивает ресурс наработки на отказ и сводит к минимуму необходимость обслуживания.
• Высокая эффективность в широком диапазоне: Оптимальная откачка как тяжелых (Ar, N₂), так и легких (H₂, He) газов делает насос универсальным решением для сложных технологических процессов.
• Упрощенная интеграция: Встроенный блок питания OBC V4, произвольная ориентация, стандартные фланцы и цифровой интерфейс Profibus значительно упрощают и ускоряют ввод насоса в эксплуатацию.
• Энергоэффективность: Низкое энергопотребление в рабочем режиме снижает общие эксплуатационные затраты.

Области применения

Насос ATH 2303 M является отраслевым стандартом для задач, требующих высокой скорости откачки и чистого сверхвысокого вакуума:

• Аналитическое приборостроение: Масс-спектрометры (особенно высокого разрешения), электронные и ионные микроскопы.
• Полупроводниковая промышленность: Установки физического (PVD) и химического (CVD, ALD) осаждения из паровой фазы, литография, производство микрочипов и МЭМС.
• Фундаментальные и прикладные научные исследования: Ускорительная техника, системы молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), исследования поверхностей, синхротронные линии.
• Специальные производства: Изготовление оптических и защитных покрытий, производство солнечных элементов